全自動探針臺的優點有很多,其中主要的優點是高精度和高效率。由于它采用了先進的機械、光學和電氣技術,它可以實現高精度的芯片定位和測試,同時可以大大提高測試效率,縮短生產周期。此外,還可以實現自動化操作,減少人工干預和錯誤率,提高生產效率和產品質量。接下來本文將重點介紹全自動探針臺主要由什么組成以及國產與進口全自動探針臺區別,一起來看看吧!
一、全自動探針臺主要由什么組成

全自動探針臺是一種用于半導體行業的重要設備,主要用于在制造集成電路的過程中對芯片進行測試和驗證。探針是用來與芯片上的接觸點進行接觸并測試其性能的工具,而探針臺則是用于控制探針的精確位置和操作,以及進行數據采集和處理的重要設備。
全自動探針臺的結構包括以下幾個主要部分:
1、機械系統:機械系統是核心部分,它包括一個精密的XYZ坐標系,用于控制探針的移動。這個坐標系通常由高精度的直線導軌、伺服電機和光學編碼器組成。此外,機械系統還包括一個可以容納多個探針的探針座,以及一個可以自動更換探針的裝置。
2、光學系統:光學系統是重要部分之一,它包括一個高精度的顯微鏡和一組用于照明和觀察芯片的鏡頭。通過光學系統,操作者可以清晰地觀察到芯片上的接觸點,并將探針準確地放置在接觸點上。
3、電氣系統:電氣系統是控制中心,它包括一個主控制器、一個電源和一個與計算機連接的數據接口。主控制器用于控制機械系統和光學系統的操作,電源用于提供能量,而數據接口則用于將測試數據傳輸到計算機中進行處理和分析。
4、軟件系統:軟件系統是關鍵部分之一,它控制著整個測試過程,包括探針的移動、測試信號的施加和測量、以及數據的采集和處理等。軟件系統通常采用圖形用戶界面(GUI)來方便操作者進行操作和監控。
二、國產與進口全自動探針臺區別介紹
在選購全自動探針臺時,很多人會糾結是買進口的還是國產的,想知道國產與進口全自動探針臺區別有哪些?
1、探針數量
國產和進口全自動探針臺的主要區別在于探針數量的不同。國產全自動探針臺采用的是單探針或雙探針設計,而進口全自動探針臺則一般配備三至六個探針。
2、精度
在精度方面,進口全自動探針臺通常比國產探針臺更精確。這是因為許多進口探針臺采用了先進的微機控制系統和高精度傳動系統,具備更高的測量精度和可重復性。
3、使用壽命
進口全自動探針臺通常采用的是優質材料和制造工藝,具有更長的使用壽命和更好的穩定性。而國產探針臺由于材料和制造工藝的限制,使用壽命和穩定性方面可能存在一定的差距。